SATOVAC佐藤真空PG-D5A皮拉尼真空計是一款具備高精度、寬測量范圍及多功能擴(kuò)展性的進(jìn)口真空測量設(shè)備，適用于半導(dǎo)體制造、科研實驗、工業(yè)生產(chǎn)等對真空度要求嚴(yán)苛的場景。以下是對該產(chǎn)品的詳細(xì)介紹：

一、產(chǎn)品概述

SATOVAC佐藤真空PG-D5A皮拉尼真空計是一款數(shù)字型真空測量儀器，采用熱傳導(dǎo)原理進(jìn)行真空壓力測量。其核心部件包括金屬圓筒內(nèi)部的白金細(xì)線，通過測量氣體分子碰撞白金細(xì)線導(dǎo)致的熱量變化，實現(xiàn)真空壓力的精確測

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1、寬測量范圍：PG-D5A型號具備6個量程自動切換功能，測量范圍從1×10?Pa（接近大氣壓）至1.3×10?1Pa，覆蓋了從大氣壓到高真空的廣泛測量需求。

2、高精度測量：采用熱傳導(dǎo)原理和溫度補(bǔ)償技術(shù)，有效減少了環(huán)境溫度變化對測量精度的影響，確保讀數(shù)的準(zhǔn)確性。

3、數(shù)字與條形圖雙重顯示：數(shù)字顯示精確數(shù)值，條形圖直觀展示壓力趨勢，便于用戶快速判斷系統(tǒng)狀態(tài)。

4、多功能擴(kuò)展性：配備通信功能和BNC輸出等擴(kuò)展功能，可用于各種控制、FA系統(tǒng)等多種用途。同時支持6點(diǎn)繼電器接點(diǎn)輸出，用戶可自由分配設(shè)定點(diǎn)，滿足不同應(yīng)用場景的需求。

5、易于安裝與集成：采用標(biāo)準(zhǔn)化測頭設(shè)計，安裝φ15mm測頭口，便于集成到各種真空系統(tǒng)中。緊湊的尺寸設(shè)計（144×220×96mm）和輕量化（1.8kg）便于安裝和搬運(yùn)。

三、多元化應(yīng)用領(lǐng)域

1、半導(dǎo)體制造：在濺射、CVD、蝕刻等工藝環(huán)節(jié)中，精確的真空控制是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。PG-D5A皮拉尼真空計用于監(jiān)控這些工藝過程中的真空度，確保工藝條件穩(wěn)定可靠。

2、科研實驗：在表面物理、核能、航天等研究領(lǐng)域，皮拉尼真空計提供精確的真空測量，為科學(xué)研究提供可靠數(shù)據(jù)支持。

3、工業(yè)生產(chǎn)：在真空冶金、機(jī)械工業(yè)等領(lǐng)域，PG-D5A適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測量，提供快速、可靠的真空度監(jiān)測。

4、其他領(lǐng)域：在醫(yī)療衛(wèi)生、化工領(lǐng)域，特別是冷凍干燥、滅菌工藝中，PG-D5A用于監(jiān)控工藝過程中的真空度，確保產(chǎn)品質(zhì)量和工藝重現(xiàn)性。與此同時在能源領(lǐng)域和航空航天行業(yè)中，真空技術(shù)對產(chǎn)品性能和可靠性至關(guān)重要，PG-D5A皮拉尼真空計在這些領(lǐng)域提供必要的測量保障。

四、技術(shù)規(guī)格

1. 測量范圍：1×10?～1.3×10?1Pa（6個量程自動切換）

2. 壓力單位：Pa

3. 控制輸出：6點(diǎn)繼電器接點(diǎn)輸出（AC110V，0.5A，阻性負(fù)載）

4. 記錄儀輸出：全量程DC5V/10V切換

5. 電源電壓：AC100V～240V±10%，50Hz/60Hz，30VA

6. 尺寸：144×220×96mm

7. 質(zhì)量：1.8kg